产品目的:
LNS测试液体中纳米颗粒和PRECIPITATE的粒径分布。
产品应用:
l CMP研磨液量测
l CMP清洁后的量测
l 滤芯筛检性能的测试
l 材料合成中其控制变化所呈现颗粒数量浓度的量测
l 测试范围:6-316nm @ 64channelperdecade和10-562nm @ 32 channelperdecade
l CMP研磨液量测
l CMP清洁后的量测
l 滤芯筛检性能的测试
l 材料合成中其控制变化所呈现颗粒数量浓度的量测
l 测试范围:6-316nm @ 64channelperdecade和10-562nm @ 32 channelperdecade