TC -WAFER
TC -WAFER简介
一 概述：
TC为热电偶（Thermocouple）的简称，TC Wafer則是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时量测。
借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布；同时，亦可利用此传感器來持续监控在热处理过程中晶圆暂态温度变化，例如：升温、降温过程及延迟周期等。（温度的均匀与否关系良率）
二 设备简介：
数据转换系统 |
| 来自National Instruments TM 16通道，最大支持64通道。 |
软件 |
| 温度剖面图 彩色 2D/3D 显示（采样率，最大、最小温度，范围，点位） 数据保存、导出。 |
TC-WAFER |
| 可指定热电偶类型，点位，数量 |
扩展线 |
| 可指定绝缘层材质，接头类型。 密封的聚酰亚胺扁平电缆，可在大气中达到10-7托。长度由客户指定。 |
RFQ | |
项目 | 内容 |
硅片尺寸及型式 | 2,3,4,5,6,8,12 吋 / Flat, Notch |
量测点位数量 | 1 - 34 点 (12 吋) |
正面或背面量测 | 正面 / 背面 |
热电偶型式 | K, R, S others() |
线的总长度需求 | |
第一段线的线径 | 0.127mm, 0.075mm (RTP 建议) |
第一段线的长度 | |
第一段线的材质 | Polyimide with teflon , Silica sleeve, |
第二段线的长度 | |
第三段线的长度 | |
第三段线的材质 | Polyimide with teflon , Silica sleeve, |
接头型式 | Mini connector 2pin, |
工艺温度 | |
应用 | CVD, PVD, RTP, Photo, others() |
仪器需求 | DAQ system (Data Acquisition system), |
三：热电偶类型
● Type K ( 0.5%) ，温度范围 0 to 600°C
● Type R/S (精度级别 0.25%) ，温度范围 0 to 1200°C
四：TC WAFER 构成
五，软件介绍
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