会议回顾-卫利携《掩膜版制程中气体颗粒监测》精彩展示

在会议期间，卫利国际科贸（上海）有限公司携《掩膜版制程中气体颗粒监测》报告进行精彩演示。

精彩现场

卫利集团聚焦微污染管控和静电防护，结合行业中“光散射原理”、“凝结核原理”、“视觉/动态图像侦测”等测试原理和方法，深耕半导体产业中的颗粒和Precursor测试。

1.使用Reticle型侦测设备对掩膜版制程腔内颗粒，水平、震动、和对位等线上测试。

2. 便携式气体纳米颗粒计数器和收集器，对机台和腔体内环境以及小至4.5 nm的颗粒物进行快速定量测试，并将测试后的颗粒污染物进行收集，以便用于进一步的物质鉴定。

感谢各位客户对我们的支持与信任，期待与您再次相遇！